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RegistrierenFluorgasgemische als umweltfreundliche Reinigungsgasalternative für Halbleiter
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Fluorgasgemische als umweltfreundliche Reinigungsgasalternative für Halbleiter
Die Hersteller von Halbleiterchips verwenden in ihren Prozessen eine Vielzahl von Gasen, um Siliziumwafer zu strukturieren. Nach der Bearbeitung einer bestimmten Anzahl von Wafern müssen die Prozesskammern gereinigt werden. Um dem Bedarf der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, hat Solvay zwei verschiedene Fluorgasmischungen als umweltfreundliche Gase für CVD-Reinigungsprozesse entwickelt und weltweit patentiert. Solvaclean ist ein Reinigungsgas, das die drei wichtigsten Reinigungsgase C2F6, CF4 und NF3 durch umweltfreundliche fluorierte Gasmischungen ersetzt. Dieses Projekt umfasste die Validierung und Optimierung der neuen Reinigungsprozesse auf Produktionsanlagen und die Freigabe für die FAB-Produktion (Halbleiterproduktionsanlage, in der Geräte wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden). Solvaclean reinigt mit ähnlicher Geschwindigkeit und Effizienz wie die Alternativen, wobei weniger Gas pro Anwendung verbraucht wird.
Solvay
Bei Solvay beherrschen wir die Elemente, die für unsere Welt wesentlich sind.
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