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enScribe™ Product line

Ein neuartiges Gasmolekül, das das Erderwärmungspotenzial bei der Halbleiterherstellung verringert

February 2021
Gallery enScribe™ Product line 1
Gallery enScribe™ Product line 1
01.

Identifikation

Die Herstellung von Halbleiterbauelementen erfordert mehrere Gasphasenprozesse für das kontrollierte Aufwachsen/Entfernen von Materialien, um spezifische Architekturen zu schaffen. Air Liquide hat ein neues Portfolio fortschrittlicher Ätzspezialgase entwickelt, um sowohl die technologischen als auch die ökologischen Herausforderungen der Zukunft in der Halbleiterindustrie zu lösen. Es bringt den Kunden der Halbleiterindustrie zwei Arten von Vorteilen: Sie gehen nicht nur die neuen technischen Herausforderungen für fortschrittlichere und kompliziertere Bauelemente an, sondern bringen auch Vorteile für die Umwelt mit sich, da sie den gesamten GWP-Fußabdruck ihrer Produktionsstätte reduzieren.

  • /
Paketschein Datum 3. Februar 2021
Von Frankreich
Reifegrad Kommerzialisierung im mittleren und großen Maßstab
Sucht nach Netzwerk, Sichtbarkeit, neue Kunden, Finanzierungen, Partner
02.

Die Vorteile für die Umwelt

  • Reduziert die Prozesszeit um 50%
  • Verbesserung der Selektivität der a-C-Maske um das 3-4fache im Vergleich zu C4F6
  • Tausendfach geringeres GWP (1/1000) im Vergleich zu herkömmlichen Fluorkohlenwasserstoffen (a-C4F8)
  • enScribe™ G1-Gas reduziert die CO2-Emissionen des Kunden um 4 % - das entspricht der Reduzierung der CO2-Emissionen von 29.000 Autos
03.

Die finanziellen Vorteile

  • Weniger als 5 Jahre Amortisationszeit
  • Verbesserung des Ertrags um 10 % im Vergleich zu herkömmlichen Alternativen
04.

Aktivität Region

  • /
  • Hauptsitz
  • Aktivität
05.

Unternehmensprofil

Air Liquide

Ein weltweit führender Anbieter von Gasen, Technologien und Dienstleistungen für Industrie und Gesundheit.

Firmenprofil ansehen Lösung Website
Hauptsitz 75007 Paris, France
06.

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